Vakuumventil med høy ytelse

En vakuumventil er en enhet montert i en tilførsels- eller eksosledning til et vakuumsystem. Det brukes vanligvis til å isolere vakuumområder som prosesskamre, eller for å kontrollere innkommende og utgående gassvolumer. Vakuumventiler kan betjenes manuelt, pneumatisk, elektropneumatisk, elektrisk eller elektromagnetisk. Vakuumventiler er en integrert del av ethvert vakuumsystem, og vakuumsystemer brukes i en lang rekke industrielle produksjonsapplikasjoner.

Visse vakuumprosesser stiller spesielt høye krav til renheten samt den kjemiske og fysiske stabiliteten til prosessmiljøet. Dette gjelder for eksempel nesten alle områder innen halvlederproduksjon samt mange forskningsanlegg der vakuumsystemer brukes. Innenfor elementær forskning, evnen til å håndtere ekstreme forhold som svært høye eller lave temperaturer, sterk stråling og ekstremt høyt vakuum (XHV) med trykk opp til 10-15 mbar – grensene for hva som for øyeblikket er teknisk gjennomførbart og målbare – legges ofte til disse kravene.

Vakuumventiler i disse applikasjonene skiller seg fra standard vakuumventiler på følgende måter:

Minimert partikkelutslipp

Vakuumventiler med høy ytelse er optimalisert for ikke å frigjøre partikler gjennom materialene for hus, mekanikk eller tetninger ved utgassing, heller ikke gjennom åpning og lukking eller kontrollerer bevegelser ved friksjon. Dette oppnås ved spesielt utvalg og behandling av materialene som brukes, og ved visse designdetaljer som minimerer eller i noen tilfeller helt eliminerer partikkelfrigjøring.

Minimerte bevegelsespulser

Hver ventil genererer bevegelsespulser gjennom åpnings- og lukkebevegelsene. Når det gjelder automatisk drevne ventiler, kan disse variere fra små vibrasjoner til hørbare og merkbare harde støt. Disse bevegelsespulsene kan ha en negativ innvirkning på sensitive produksjonsprosesser, for eksempel gjennom ytterligere partikkelfrigjøring. I tillegg til designfunksjoner, minimerer høyytelsesvakuumventiler disse impulsene først og fremst ved å kontrollere bevegelsen i såkalte bevegelsesprofiler. I likhet med måten passasjerheiser fungerer, reduseres lukkehastigheten kort tid før lukkepunktet nås for å forhindre "treff". Disse bevegelsesprofilene kan vanligvis modifiseres slik at de for eksempel kan tilpasses ønskede forhold med hensyn til stengetid og lukkefrekvens.

Nøytral kjemisk og fysisk atferd

Vakuumventiler endrer alltid homogeniteten til et vakuumprosesskammer, uansett form. Dette skjer delvis som et resultat av deres geometri. Innsnevring eller utvidelse av strømningsbanen kan endre strømningsmotstanden og strømningshastigheten, eller døde rom, som for eksempel bevegelsesrom for ventilplate, kan fremme avsetningsprosesser. Dette skjer også gjennom åpnings- og lukkebevegelsen, som endrer strømningsadferd samt konsentrasjon, distribusjon, blanding og temperatur av prosessgasser. Vakuumventiler med høy ytelse er optimalisert for å kompensere for slike påvirkninger der det er mulig eller for å gjøre dem kontrollerbare. For dette formål er en rekke tilleggsteknikker innlemmet i designene som går langt utover de grunnleggende ventilfunksjonene som åpning og lukking eller kontroll.

Nøyaktig reproduserbar oppførsel

Vakuumventiler med høy ytelse skiller seg fra standardløsninger først og fremst ved deres svært reproduserbare oppførsel. Dette betyr at mens standardløsninger viser svingninger i hver enkelt åpnings- og lukkebevegelse og viser avvik fra deres definerte ytelsesverdier over bruksperioden, er høyytelses vakuumventiler optimalisert for alltid å vise samme oppførsel, definert innenfor svært snevre grenser, over lange bruksintervaller. Dette betyr at de stabiliserer vakuumprosesser og minimerer prosesskontrollkompleksiteten.

Populære tags: høyytelses vakuumventil, Kina høyytelses vakuumventilprodusenter, leverandører, fabrikk